Materials for Advanced Metallization 2014 [... MAM 2014 ... 23rd European Workshop on ... was held in Chemnitz, Germany ...from March 2 - 5, 2014 ... 30 papers]
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Amsterdam u.a.
Elsevier
2015
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| Schriftenreihe: | Microelectronic engineering
137.2015 |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | VII, 168 S. |
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