Application oriented nano-patterning methods based on the liquid transfer imprint lithography

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2014

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Kim, Jung Wuk (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	München Verl. Dr. Hut 2015
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Ingenieurwissenschaften
Schlagworte:	Hochschulschrift > Lithografie > Halbleitertechnologie
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Inhaltstext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!