Entwicklung, Integration und Erprobung eines piezoresistiven 3D-Mikrotasters

Entwicklung, Integration und Erprobung eines piezoresistiven 3D-Mikrotasters

Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2015

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Ferreira, Nelson (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen Shaker 2015
Schriftenreihe:Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik 37
Schlagworte:
Hochschulschrift > Taktiler Sensor > Mikrosensor > Halbleiterdrucksensor > Siliciumsensor > Koordinatenmessgerät > Verzahnung > Mikrofertigung
Online Zugang:Inhaltstext
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2015
Beschreibung:VIII, 158 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:9783844035469
978-3-8440-3546-9