Plasma und optische Technologien : PluTO_IAD ; Untersuchung, Optimierung und Monitorierung plasmagestützter Verdampfungsprozesse ; Abschlussbericht ; Laufzeit: 01.05.2009 - 30.04.2014

Plasma und optische Technologien PluTO_IAD ; Untersuchung, Optimierung und Monitorierung plasmagestützter Verdampfungsprozesse ; Abschlussbericht ; Laufzeit: 01.05.2009 - 30.04.2014

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Stenzel, Olaf (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Jena Fraunhofer Inst. für Angewandte Optik und Feinmechanik, IOF 2014
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N10459. - Verbund-Nr. 01073123
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Beschreibung:11 S.
Ill., graph. Darst.