Proceedings / MME 2012 Ilmenau : 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop ; September 9 - 12, Ilmenau, Germany

Proceedings / MME 2012 Ilmenau 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop ; September 9 - 12, Ilmenau, Germany

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Technische Universität Ilmenau Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Schneider, Andrea (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Ilmenau Verl. ISLE 2012
Schlagworte:
Konferenzschrift > CD-ROM
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Beschreibung
Beschreibung:1 CD-ROM
12 cm
ISBN:9783938843710
978-3-938843-71-0