Simultane Plasma-Laser-Behandlung von dünnen Halbleiterschichten Schlussbericht zum Projekt SiPLaH ; Laufzeit des Vorhabens und Berichtszeitraum: 01.07.2010 - 31.12.2013
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| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Göttingen
Hochsch. für angewandte Wiss. und Kunst Fachhochsch. Hildesheim/Holzminden/Göttingen
2014
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| Beschreibung: | 28 Bl. Ill., graph. Darst. |