Neuartige hochauflösende Metrologie an High-End Fotomasken für energieeffiziente Nanoelektronik (CoolMaskMetro) Schlussbericht

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Beshchasna, Nataliia (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Opitz, Jörg (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden Fraunhofer-Inst. f. Keramische Technologien u. Systeme, IKTS-MD 2014
Schlagworte:	Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 16N11495 [richtig] - 13N11496 [falsch]. - Verbundvorhaben-Nr.: 01090526 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	62 S. Ill., graph. Darst.