A run-to-run controller for product surface quality improvement

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of production research
1. Verfasser:	Bao, Lulu (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Wang, Kaibo (VerfasserIn), Wu, Tianying (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2014
Schlagworte:	Kriging > process modelling > run-to-run control > silicon wafer > Aufsatz in Zeitschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Ill., graph. Darst.
ISSN:	0020-7543