Silizium-Halbleitertechnologie Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
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1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Wiesbaden
Springer Vieweg
2014
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Ausgabe: | 6., korr. und verb. Aufl. |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis Inhaltstext |
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Beschreibung: | XI, 263 S. Ill., graph. Darst. 240 mm x 168 mm |
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ISBN: | 3834813354 3-8348-1335-4 9783834813350 978-3-8348-1335-0 9783834820853$So |