Alternative lithographic technologies VI : 24 - 27 February 2014, San Jose, California, United States ; [at SPIE advanced lithography]

Alternative lithographic technologies VI 24 - 27 February 2014, San Jose, California, United States ; [at SPIE advanced lithography]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Resnick, Douglas J. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2014
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 9049
Schlagworte:
Konferenzschrift > Lithografie
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:Getr. Zählung [ca. 600 S.]
Ill., graph. Darst.
ISBN:9780819499721
978-0-8194-9972-1