Herstellung und Bearbeitung von Materialien für die Dünnschichtabscheidung Grundlagen und Anwendungen ; 15. Wörlitzer Workshop am 3. Juni 2014 in Wörlitz ; Tagungsband

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten (BerichterstatterIn), Freiberger Silicium- und Targetbearbeitung GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Händel, Frank (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dresden EFDS 2014
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Enthält nur Präsentationsfolien, keine ausgearb. Vorträge
Beschreibung:Getr. Zählung [ca. 180] S.
zahlr. Ill., graph. Darst.