MOEMS and miniaturized systems XIII : 3 - 6 February 2014, San Francisco, California, United States ; [part of SPIE photonics west]

MOEMS and miniaturized systems XIII 3 - 6 February 2014, San Francisco, California, United States ; [part of SPIE photonics west]

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Piyawattanametha, Wibool (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2014
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 8977
Schlagworte:
Microelectromechanical systems > Miniature electronic equipment > Micromechanics > Optical scanners > Konferenzschrift > MEMS > Elektrooptisches Bauelement > Miniaturisierung
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:Getr. Zählung, [ca. 340] S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:9780819498908
978-0-8194-9890-8