Simulation und Modellierung von CCRF-Entladungen in molekularen Gasen

Bochum, Univ., Diss., 2014

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mohr, Sebastian (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2013
Schlagworte:	Hochschulschrift > Simulation > PECVD-Verfahren > Hochfrequenzplasma > Wasserstoff > Silan
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