Simulation und Modellierung von CCRF-Entladungen in molekularen Gasen

Bochum, Univ., Diss., 2014

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Mohr, Sebastian (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2013
Schlagworte:
Hochschulschrift > Simulation > PECVD-Verfahren > Hochfrequenzplasma > Wasserstoff > Silan
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Beschreibung
Zusammenfassung:Bochum, Univ., Diss., 2014
Beschreibung:155 S.
Ill., graph. Darst.