Nano-tribology and materials in MEMS

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Sinha, Sujeet K. (HerausgeberIn), Satyanarayana, N. (HerausgeberIn), Lim, Seh Chun (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin, Heidelberg u.a. Springer 2013
Schlagworte:	Konferenzschrift > Tribologie > Nanostrukturiertes Material > MEMS
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Inhaltstext Cover
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