Nano-tribology and materials in MEMS
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg u.a.
Springer
2013
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Beschreibung: | Literaturangaben |
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Beschreibung: | VIII, 275 S Ill., graph. Darst 24 cm |
ISBN: | 3642369340 3-642-36934-0 9783642369346 978-3-642-36934-6 |