Fuzzy-based risk priority number in FMEA for semiconductor wafer processes

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of production research
1. Verfasser:	Yeh, Tsu-ming (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Chen, Long-yi (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2014
Schlagworte:	failure mode and effect analysis (FMEA) > risk priority number (RPN) > fuzzy theory > semiconductor wafer manufacturing processes > Aufsatz in Zeitschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	graph. Darst.
ISSN:	0020-7543