Chemisches Gasphasenätzen und laterales epitaktisches Überwachsen für kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen

Zugl.: Konstanz, Univ., Diss., 2013

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Drießen, Marion (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Fraunhofer-Verl. 2014
Schriftenreihe:	Solare Energie- und Systemforschung
Schlagworte:	Hochschulschrift > Dünnschichtsolarzelle > Silicium > CVD-Verfahren > Ätzen > Epitaxieschicht
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Inhaltstext Freie elektronische Version
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