Verbundprojekt: Plasma und Optische Technologien - PluTO, Teilvorhaben: PLM I - Modellierung plasmagestützter Abscheideprozesse Schlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens: 1.5.2009 - 30.4.2013
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| Sprache: | ger |
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Bochum
Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik, Ruhr-Univ.
2013
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 13N10463. - Verbund-Nr. 01073123 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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| Beschreibung: | 7, [1] Bl. graph. Darst. |