Aufskalierung einer VHF Linienquelle für höhere Frequenzen und größere Bearbeitungsbreiten [Bearbeitungszeitraum: 01.09.2009 - 31.03.2013]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Technische Universität Dresden Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Bartha, J.W. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden ca. 2013
Schlagworte:	Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMU 0325156 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	66 S. Ill., graph. Darst.