Modelling and scheduling analysis of multi-cluster tools with residency constraints based on time constraint sets

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of production research
1. Verfasser:	Liu, Ming-xiang (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Zhou, Bing Hai (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2013
Schlagworte:	multi-cluster tools > residency constraints > modelling > scheduling > time constraint set > multiple wafer product types > Aufsatz in Zeitschrift
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Beschreibung:	graph. Darst.
ISSN:	0020-7543