Scheduling dual-armed cluster tools with cleaning processes

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:International journal of production research
Weitere Verfasser: Kim, Heejung (BerichterstatterIn), Kim, Hyun-Jung (BerichterstatterIn), Lee, Jun-ho (BerichterstatterIn), Lee, Tae-eog (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2013
Schlagworte:
cleaning process > cluster tool > scheduling > semiconductor manufacture > Aufsatz in Zeitschrift
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Beschreibung
Beschreibung:graph. Darst.
ISSN:0020-7543