Abtragsverhalten von Einkristallen und Strukturierung von Siliziumnitrid-Membranen mittels Fokussiertem Ionenstrahl

Hamburg, Univ., FB Phys., Diss., 2013

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Stark, Yuliya (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2013
Schlagworte:	Hochschulschrift > Einkristall > Sputtern
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Hamburg, Univ., FB Phys., Diss., 2013
Beschreibung:	179. S. Ill., graph. Darst.