Herstellung und Charakterisierung ultradünner ZrO2-basierter Schichten als Isolatoren in Metall-Isolator-Metall Kondensatoren

Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2013

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Weinreich, Wenke (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Frauenhofer-Verl. 2013
Schlagworte:	Forschungsbericht > Hochschulschrift > Dynamisches RAM > Kondensator > Metall-Isolator-Metall-System > Zirkoniumdioxid > Dünne Schicht > Atomlagenabscheidung
Online Zugang:	Freie elektronische Version
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2013
Beschreibung:	153, XXXIX S. Ill., graph. Darst.
ISBN:	9783839605547 978-3-8396-0554-7