Entwicklung plasmadiagnostischer Verfahren zur Abscheidung von Se-haltigen Schichten

Kiel, Univ., Diplomarbeit, 2012

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Bergemann, Nils (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Kiel Inst. für Experimentelle und Angewandte Physik der Christian-Albrechts-Univ. 2012
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Beschreibung
Zusammenfassung:Kiel, Univ., Diplomarbeit, 2012
Beschreibung:101 Bl
Ill., graph. Darst