Selected papers from the 20th European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2011 (held together with the International Interconnect Technology Conference IITC 2011) ; [... was held in ... Dresden Congress Center, Germany ... from May 8 - 12, 2011 ... 34 papers]
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| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Amsterdam u.a.
Elsevier
2013
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| Schriftenreihe: | Microelectronic engineering
106.2013 |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Auf der Haupttitels. auch MAM 2011 : a single-session workshop devoted to materials research, materials properties and interactions |
|---|---|
| Beschreibung: | S. 53 - 224 |