Schlussbericht zum Vorhaben "CATRENE-Projekt EXEPT", BMBF-Verbundprojekt: EUV Lithographie für den 22nm Knoten, Teilvorhaben: Diffraktive optische Elemente für EUV-Prüfoptiken Laufzeit: 01.05.2009 - 31.05.2012

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Institut für Mikroelektronik Stuttgart (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Koepernik, Corinna (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart 2013
Schlagworte:	Forschungsbericht > Maske > Lithografie > Extremes Ultraviolett
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 16N10568 [neu] - 13N10568 [alt]. - Verbund-Nr. 01073713 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	24 Bl. Ill., graph. Darst.