Modeling aspects in optical metrology IV : 13 - 14 May 2013, Munich, Germany ; [part of the SPIE Optical Metrology Symposium]

Modeling aspects in optical metrology IV 13 - 14 May 2013, Munich, Germany ; [part of the SPIE Optical Metrology Symposium]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: SPIE, The International Society for Optical Engineering Europe (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Bodermann, Bernd (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2013
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 8789
Schlagworte:
Optical measurements > Integrated circuits > Semiconductors > Design and construction > Konferenzschrift > Optische Messtechnik > Metrologie > Modellierung
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Co-located with LASER world of photonics 2013
Beschreibung:Getr. Zählung, [ca. 400] S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:9780819496058
978-0-8194-9605-8