A system for online detection and classification of wafer bin map defect patterns for manufacturing intelligence

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:International journal of production research
1. Verfasser: Chien, Chen-fu (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Hsu, Shao-chung (VerfasserIn), Chen, Ying-jen (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2013
Schlagworte:
adaptive resonance theory > data mining > manufacturing intelligence > semiconductor manufacturing > statistical process control > wafer bin map > yield enhancement > Taiwan > Aufsatz in Zeitschrift
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Beschreibung
Beschreibung:graph. Darst.
ISSN:0020-7543