Untersuchungen zur Anwendbarkeit Ruthenium-basierter Schichten für die Verdrahtung integrierter Schaltkreise

Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2012

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Wojcik, Henry (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin Pro Business 2013
Ausgabe:	1. Aufl.
Schlagworte:	Hochschulschrift > Integrierte Schaltung > Kupfer > Metallisieren > Verdrahtung > Ruthenium > Mehrschichtsystem
Online Zugang:	Inhaltstext Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2012
Beschreibung:	X, 164 S. Ill., graph. Darst. 210 mm x 148 mm, 287 g
ISBN:	3863869621 3-86386-962-1 9783863869625 978-3-86386-962-5