Polymerfolien mit Anti-Reflexeigenschaften durch Plasmaätzen (PolAR) Abschlussbericht - gemeinsamer Bericht der wissenschaftlichen Partner ; Berichtsperiode: 01.10.2008 - 30.03.2012
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Sprache: | ger |
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Dresden
Fraunhofer-Inst. für Elektronenstrahl- u. Plasmatechnik FEP
2012
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