Polymerfolien mit Anti-Reflexeigenschaften durch Plasmaätzen (PolAR) Abschlussbericht - gemeinsamer Bericht der wissenschaftlichen Partner ; Berichtsperiode: 01.10.2008 - 30.03.2012

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Fahland, Matthias (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Schönberger, Waldemar (VerfasserIn), Munzert, Peter (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dresden Fraunhofer-Inst. für Elektronenstrahl- u. Plasmatechnik FEP 2012
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMWi 16IN0723-24. - Verbund-Nr. 01067333. - Engl. Berichtsbl. u.d.T.: Polymer films with anti-reflection properties by plasma etching (PolAR)
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:81, [2] S.
Ill., graph. Darst.