Polymerfolien mit Anti-Reflexeigenschaften durch Plasmaätzen (PolAR) Abschlussbericht - gemeinsamer Bericht der wissenschaftlichen Partner ; Berichtsperiode: 01.10.2008 - 30.03.2012
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Weitere Verfasser: | , |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Dresden
Fraunhofer-Inst. für Elektronenstrahl- u. Plasmatechnik FEP
2012
|
Schlagworte: | |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Beschreibung: | Förderkennzeichen BMWi 16IN0723-24. - Verbund-Nr. 01067333. - Engl. Berichtsbl. u.d.T.: Polymer films with anti-reflection properties by plasma etching (PolAR) Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
---|---|
Beschreibung: | 81, [2] S. Ill., graph. Darst. |