Special issue of the 9th High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology Workshop, HARMST 2011, in Hsinchu, Taiwan, June 12 - 18, 2011

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Fu, Chien-Chung (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Heidelberg Springer 2013
Schriftenreihe:	Microsystem technologies 19.2013,3
Schlagworte:	Konferenzschrift
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