Realization of a mesa array in (001) oriented silicon wafers for tactile sensing applications

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Buser, R. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Stauffer, B. (VerfasserIn), Rooij, N. F. de (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Neuchatel IMT 1986
Schriftenreihe:	Rapport 185
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