Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication

Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Mack, Chris A. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Chichester John Wiley & sons, Ltd May 2012
Ausgabe:Reprint with corrections
Schlagworte:
Lithografie > Fotolithografie
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:xvii, 515 Seiten
Illustrationen, Diagramme
ISBN:9780470018934
978-0-470-01893-4