Kinetic Monte Carlo simulation of impurity effects on nucleation and growth of SiC clusters on Si(100)

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Silicon carbide and related materials 2012
1. Verfasser:	Lubov, Maxim N. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Pezoldt, Jörg (VerfasserIn), Trushin, Yuri V. (VerfasserIn)
Pages:	2012
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2013
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