Ultra clean processing of semiconductor surfaces XI selected, peer reviewed papers from the 11th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS), September 17 - 19, 2012, Gent, Belgium

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Interuniversity Micro-Electronics Center (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Mertens, Paul (BerichterstatterIn), Meuris, Marc (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Durnten-Zurich u.a. TTP, Trans Tech Publ. 2013
Schriftenreihe:	Diffusion and defect data / B 195
Schlagworte:	Konferenzschrift > Halbleiter > Oberflächenreinigung
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!