European equipment & materials initiative 450 mm (EEMI450) Teilvorhaben: Untersuchung der Prozessabläufe zur Herstellung von 450mm Siliciumeinkristallscheiben ; Schlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.06.2010 - 31.05.2012

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Siltronic AG (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Stallhofer, Peter (BerichterstatterIn), Lambert, Ulrich (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Burghausen 2012
Schlagworte:	Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 13N10987 [alt] - 16N10987 [neu]. - Verbund-Nr. 01078223 Auch als elektronische Ressource vorh. - Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	4, [13] Bl. Ill., graph. Darst.