KMU-innovativ-Verbundprojekt: Optische in-situ Prozess-Sensorik für die hochproduktive Fertigung optischer Vielschichtsysteme (OptiLaySens), Teilvorhaben: Sputterprozesse mit in-situ Spektroskopie für anspruchsvolle Vielschichtsysteme (OptSensSputt) : Schlussbericht des FRaunhofer FEP im Verbund OptiLaySens ; Berichtszeitraum: 01. Mai 2010 bis 30. April 2012

KMU-innovativ-Verbundprojekt: Optische in-situ Prozess-Sensorik für die hochproduktive Fertigung optischer Vielschichtsysteme (OptiLaySens), Teilvorhaben: Sputterprozesse mit in-situ Spektroskopie für anspruchsvolle Vielschichtsysteme (OptSensSputt) Schlussbericht des FRaunhofer FEP im Verbund OptiLaySens ; Berichtszeitraum: 01. Mai 2010 bis 30. April 2012

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Bartzsch, Hagen (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dresden Fraunhofer FEP 2012
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N11005. - Verbund-Nr. 01078261
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden. - Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:19 Bl.
Ill., graph. Darst.