Mikro-System-Technik Chemnitz '12 Mikromechanik & Mikroelektronik ; 11. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik ; 23./24. Oktober 2012
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Chemnitz
Techn. Univ.
2012
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Beschreibung: | Literaturangaben |
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Beschreibung: | 154 S. Ill. graph. Darst. |
ISBN: | 9783000391620 978-3-00-039162-0 |