Plasma processing 18 : [papers presented at the Symposium "Plasma Processing 18" held during the 219th meeting of the Electrochemical Society, in Montreal, Quebec, Canada, from May 1 to 6, 2011]

Plasma processing 18 [papers presented at the Symposium "Plasma Processing 18" held during the 219th meeting of the Electrochemical Society, in Montreal, Quebec, Canada, from May 1 to 6, 2011]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Engelhardt, M. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Red Hook, NY Curran 2011
Schriftenreihe:ECS transactions Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing 35,20
Schlagworte:
Konferenzschrift
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:V, 33 S.
ISBN:9781607682806
978-1-60768-280-6