Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 4. GMM-Workshops, 12. - 13. November 2012 in Berlin

Mikro-Nano-Integration Beiträge des 4. GMM-Workshops, 12. - 13. November 2012 in Berlin

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Hoffmann, Martin (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin u.a. VDE-Verl. 2012
Schriftenreihe:GMM-Fachbericht 74
Schlagworte:
Konferenzschrift > CD-ROM
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Beschreibung
Beschreibung:1 CD-ROM
Ill., graph. Darst.
12 cm
ISBN:9783800734733
978-3-8007-3473-3