Production planning and control for semiconductor wafer fabrication facilities modeling, analysis, and systems

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mönch, Lars (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Fowler, John W. (VerfasserIn), Mason, Scott J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY u.a. Springer 2013
Schriftenreihe:	Operations research, computer science interface series 52
Schlagworte:	Semiconductors > Design and construction > Semiconductor wafers > Production planning > Produktionsplanung > Produktionskontrolle > Halbleiterindustrie
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