Advanced gate stack technology 2008 [papers from ISAGST 2008]

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Lee, Byoung Hun (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier 2011
Schriftenreihe:Microelectronic engineering 88.2011,12
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Beschreibung
Beschreibung:Die Vorlage enth. insgesamt 2 Kongresse