Bereitstellen, Charakterisieren und gegebenenfalls Konfigurieren der benötigten 0.18 [my]m CMOS Technologie mit Mehrlagenmetall Teilvorhaben im Verbundprojekt: Subwellenlängenstrukturen mit definierten spektralen und polarisationsselektiven Eigenschaften in Standard-CMOS-Prozessen (SUDEKOS) der X-FAB Semiconductor Foundries AG ; öffentlicher Abschlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.01.2008 - 31.12.2011
Gespeichert in:
Körperschaft: | |
---|---|
Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Erfurt
2012
|
Schlagworte: | |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 13N9851. - Verbund-Nr. 01065354. - Auch als elektronische Ressource vorhanden. - Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
---|---|
Beschreibung: | 14 Bl. Ill., graph. Darst. |