Multilayer integrated film bulk acoustic resonators

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Zhang, Yafei (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Chen, Da (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin Springer 2013 Heidelberg u.a. Springer 2013 Berlin u.a.
Schlagworte:	Radio resonators > FBAR-Technologie > Mikrofertigung > Mehrschichtschaltung
Online Zugang:	Autorenbiografie Verlagsangaben Inhaltsverzeichnis Inhaltstext Cover
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