Cycle time simulation study for cluster tool operation in IC fabrication

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of manufacturing technology and management
1. Verfasser:	Gupta, Amit Kumar (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Appa Iyer Sivakumar (VerfasserIn), Lendermann, Peter (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2011
Schlagworte:	Aufsatz in Zeitschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Ill., graph. Darst.
ISSN:	1368-2148