Atomic Layer Deposition - Grundlagen, Anwendungen und künftige Potentiale [Workshop] am 07. März 2012 in Dresden ; Tagungsband

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Dresden EFDS 2012
Schlagworte:
Konferenzschrift > Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Enth. überwiegend Präsentationsfolien, keine ausgearb. Vorträge
Beschreibung:Getr. Zählung
zahlr. Ill. u. graph. Darst.