Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner
Zugl.: Saarbrücken, Universität des Saarlandes, Diss., 2012
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2012
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik
21 |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Tags: |
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