Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner
Zugl.: Saarbrücken, Universität des Saarlandes, Diss., 2012
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2012
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik
21 |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Tag hinzufügen | Zusammenfassung: | Zugl.: Saarbrücken, Universität des Saarlandes, Diss., 2012 |
|---|---|
| Beschreibung: | 143 S. 77 Ill. 210 mm x 148 mm, 215 g |
| ISBN: | 9783844008289 978-3-8440-0828-9 |